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四氟化碳(CF4 Tetrafluoromethane;Carbon Tetrafluoride) CAS:75-73-0
項目 指標純度%
四氟化碳(四氟甲烷 cf4) 99.999% 99.9997% 99.99994%
雜質含量 氮氣 ﹤5ppm ﹤1ppm
氧氣 ﹤2ppm ﹤0.5ppm ﹤100ppb
氩氣 ﹤20ppb
氫氣 ﹤0.5ppm ﹤100ppb
總烴 ﹤1ppm ﹤0.1ppm ﹤50ppb
一氧化碳 ﹤1ppm ﹤0.1ppm ﹤50ppb
二氧化碳 ﹤1ppm ﹤0.25ppm ﹤100ppb
﹤2ppm ﹤1ppm ﹤200ppb

*注:産品參數僅供參考,在保證産品純度下,供方有可能根據原料參數變化而改變産品的參數,不再另行通知
包 装:
采用GB 钢瓶或DOT钢瓶,也可分装。
主要用途:
在常温下 , 四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体,挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一,在 900 ℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体 ,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧氣的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
化學品安全技術說明書(MSDS)下載: 四氟化碳

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